Article
  • Plasma Polymerization of Organosilicon Compounds : 3. Overall Kinetics of Plasma polymer Deposition
  • Park SY, Kim NJ, Kim UY, Hong SI, Sasabe HY
  • 유기실리콘 화합물의 플라즈마 중합에 관한 연구: 3. 플라즈마 중합막의 막성장 속도론
  • 박수영, 김낙중, 김은영, 홍성일, Sasabe H
Abstract


유기실리콘 화합물의 플라즈마 중합에 있어 중합막의 막성장 속도에 관한 총괄 속도식을 간단한 활성화 성장기구 모델로부터 유도, 제안하였다. 실험에 의해 측정된 중합막의 막성장 속도는 제안 속도식에 의해 잘 설명되었다. 특히, 제안 속도식의 플라즈마 중합 에너지 조건 (W/Fm)에 의한 중합막의 막성장효율의 제어는 W/fm에 의한 화학구조 및 물성의 변화와 긴밀한 관계가 있음을 알 수 있었다.

References
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    ISSN 0379-153X(Print)
    ISSN 2234-8077(Online)
    Abbr. Polym. Korea
  • 2023 Impact Factor : 0.4
  • Indexed in SCIE

This Article

  • 1992; 16(3): 260-265

    Published online May 25, 1992