We fabricated a capacitive-type humidity sensor using poly(p-phenylene ether sulfone: PES) as a humidity sensitive layer. The PES was dissolved in m-cresol(CH3C6H4OH) and spin-coated on ITO-coated glass substrate. Gold was deposited by sputtering as a water-permeable upper electrode. The capacitance of the sensor was inversely proportional to sensing film thicknesses and showed an excellent linearity of less than 1% in the humidity range of 20 to 90%. The sensor having a 1.4 μm sensing layer showed a hysteresis of 1.3% and a good sensitivity of 1.14 at 20 kHz.

ITO 코팅 글라스를 기판으로 사용하고 폴리(페닐렌에테르설폰)(PES)을 감습막으로 하여 정전용량형 습도센서를 제작하였다. 감습막은 PES를 m-cresol에 용해한 후 스핀코팅으로 제조하였고, 그 상부에 다공성 Au 막을 스퍼터링으로 증착하였다. 상대습도 20∼90%의 범위에서 센서의 용량은 감습막 두께에 반비례하였고 1% 미만의 비선형 특성을 나타내었다. 또한 1.4 μm 두께의 샘플에서는 20 kHz에서 1.3%의 히스테리시스와 1.14의 우수한 감도를 얻을 수 있었다.

Keywords: humidity sensor; sulfone; capacitive-type; p-phenylene ether sulfone