Plasma Polymerization of Organosilicon Compounds : 3. Overall Kinetics of Plasma polymer Deposition
Park SY, Kim NJ, Kim UY, Hong SI, Sasabe HY
유기실리콘 화합물의 플라즈마 중합에 관한 연구: 3. 플라즈마 중합막의 막성장 속도론
박수영, 김낙중, 김은영, 홍성일, Sasabe H
Abstract
유기실리콘 화합물의 플라즈마 중합에 있어 중합막의 막성장 속도에 관한 총괄 속도식을 간단한 활성화 성장기구 모델로부터 유도, 제안하였다. 실험에 의해 측정된 중합막의 막성장 속도는 제안 속도식에 의해 잘 설명되었다. 특히, 제안 속도식의 플라즈마 중합 에너지 조건 (W/Fm)에 의한 중합막의 막성장효율의 제어는 W/fm에 의한 화학구조 및 물성의 변화와 긴밀한 관계가 있음을 알 수 있었다.
Keywords:
Polymer(Korea) 폴리머
Frequency : Bimonthly(odd) ISSN 0379-153X(Print) ISSN 2234-8077(Online) Abbr. Polym. Korea