In this study, stretchable electrodes are demonstrated with silver electrodes on an oxygen-plasma-treated poly(dimethylsiloxane) (PDMS) substrate. The direct deposition of a silver electrode on a compliant substrate was used to avoid a complicated transfer process. We found that the stretching capability and stability under temporal and prolonged mechanical strain are improved by a simple oxygen plasma treatment on the compliant substrate due to the modified surface with reduced carbon impurities and enhanced adhesion properties between the Ag and the compliant substrate. The results show that the oxygen plasma treatment is useful for forming highly stable metal electrodes on a compliant substrate because it minimizes the number of processing steps needed.

본 연구에서는 산소 플라즈마 처리된 poly(dimethylsiloxane)(PDMS) 기판 위에 은 전극을 사용하여 신축성 있는 전극을 제작하였다. 신축성있는 기판 상에 은 전극을 직접 증착함으로써 복잡한 전사과정을 피할 수 있다. 간단한 산소 플라즈마 처리를 통해 신축성 기판표면에 탄소 불순물을 줄이고 은 전극과 신축성 기판 사이의 접착력을 강화할 수 있어서, temporal 및 prolonged mechanical strain 측정 시, 전극의 신축 능력과 안정성을 향시킬 수 있었다.

Keywords: poly(dimethylsiloxane); silver electrode; stretchable electrode