The plasma resistances of nitrile curable perfluoro elastomer (NT PFE) and peroxide curable PFE (PO PFE) after exposing to NF3 and O2 remote plasmas were investigated by analyzing weight loss and morphology of O-ring made of PFE. The compounds were designed following the typical formulations of O-ring/seal which were applied in semiconductor and LCD production site. They were blended by an open roll mill, and then, O-ring was finally made by hot press molding and oven curing. The weight loss was calculated and morphology was observed for each atmosphere and temperature by a digital weighing machine and SEM. As results, it was confirmed the weight loss and related morphology were meaningfully different according to the cure type of PFE, filler system, and the species of remote plasma.

니트릴 가교 과불소고무와 과산화물 가교 과불소고무의 내플라즈마 특성을 평가하기 위해 고온상태에서 NF3, O2 리모트 플라즈마에 노출된 과불소 고무 재질의 오링(O-ring)에 대해 각각의 무게 손실 및 표면 특성을 확인하였다. 이를 위해 컴파운드는 반도체 및 LCD 생산라인에서 적용되고 있는 오링/씰 제조를 위한 전형적인 처방에 맞춰 설계하고 오픈 롤을 사용하여 혼련작업을 실시하였으며, 이후 열프레스로 작업한 후 오븐을 이용한 후가교 공정을 거쳐 최종 오링 형태로 제조하였다. 가교된 과불소고무 오링을 고온 플라즈마 환경에 노출시킨 후 무게 감량 및 표면 특성 변화를 전자 저울 및 주사전자현미경을 사용하여 관찰하였다. 그 결과, 과불소고무의 가교타입, 필러 시스템, 플라즈마의 종류에 따라 무게 손실과 표면 상태의 변화가 상당한 수준으로 발생되는 것을 확인하였다.

Keywords: perfluoro elastomer; plasma resistance; remote plasma; weight loss; morphology.