In this study noble UV-curable epoxy modified acrylates binder was designed and synthesized to apply an organic insulating film. Firstly, diesteric acid (DA) derivatives were prepared from anhydrides and hydroxy acrylates to synthesize epoxy modified acrylates. UV-curable epoxy modified acrylates were prepared from synthesized diesteric acid (DA) and epoxy chemicals, glycidyl methacrylate (GMA). The miscibility with silica millbase ‘NANOBYK-3650’ was investigated. Appropriate binder with silica was chosen by considering the monomer chemical structure. To obtain an organic insulating film with high transmittance and low k silica resist, optimum composition of UV-curable epoxy modified acrylates was also formulated. Transmittance, patternability, and electrical properties (dielectric constant) was measured.

본 연구에서는 유기 절연막에 적용 가능한 새로운 광경화 에폭시 변성 아크릴레이트의 합성 및 그 특성에 대해 살펴보았다. 우선 다양한 에폭시 변성 아크릴레이트를 합성하기 위하여 산 무수물과 하이드록시 아크릴 단량체의 조합에 의해 diesteric acid(DA) 유도체를 반응시켰다. 합성된 diesteric acid(DA)에 에폭시 화합물인 글리시딜 메타아크릴레이트(glycidyl methacrylate)를 반응시켜 광경화 타입의 에폭시 변성 아크릴레이트를 합성하였다. 그리고 실리카 분산액인 NANOBYK-3650과의 호환성을 살펴보았다. 사용한 단량체의 구조에 기인하여 실리카와 최적의 바인더를 선정하고 이를 고투과율·저유전 실리카 레지스트에 적용시키고자 배합을 하여 유기 절연막을 제조하였다. 실리카 함량에 따른 투과율, 패턴성, 열 안정성 그리고 전기적 특성(유전 상수)을 확인하였다.

Keywords: silica resist, epoxy modified acrylate, binder, insulating thin film