PEDOT-TiO2 hybrid conductive thin film including semiconductive metal oxide was successfully prepared via simultaneous vapor phase polymerization (VPP). The mechanical properties such as pencil hardness and anti- scratch property as well as optoelectrical properties of PEDOT-TiO2 hybrid thin film could be improved as compared with pristine PEDOT thin film. Physicochemically stable crosslinked TiO2 layer derived from a sol-gel process by FTS was generated in the PEDOT thin film layer by simultaneous VPP, resulting in improving mechanical properties of the hybrid thin films without any deterioration of their original optoelectrical properties. PEDOT-TiO2 hybrid thin film showed better electrical conductivity as compared with PEDOT film. It might be due to the fact that the surface morphology of hybrid thin film prepared by simultaneous VPP showed smoother than that of pristine PEDOT thin film.

반도체 특성을 가지는 금속산화물이 포함된 poly(3,4-ethylenedioxythiophene)(PEDOT)-TiO2 하이브리드 전도성 박막을 동시-기상중합법을 이용하여 성공적으로 제조하였다. PEDOT-TiO2 박막은 PEDOT 박막에 비하여 내스크래치성, 연필경도와 같은 기계적 물성과 전기/광학적 특성을 향상시킬 수 있었다. 동시-기상중합으로 제조된 하이브리드 박막은 FTS 산화제에 의한 졸-젤 반응으로 물리화학적으로 안정한 가교구조의 TiO2 층이 균일하게 형성되어 PEDOT 박막자체의 전기/광학적 손실을 수반하지 않고 기계적 물성을 높일 수 있었다. 동시-기상중합을 통하여 제조된 하이브리드 박막은 PEDOT 박막에 비하여 평탄한 표면구조를 가졌으며, 이로 인하여 상대적으로 높은 전기전도도를 가진다.

Keywords: PEDOT; TiO2; vapor phase polymerization; sol-gel process; composite thin film.