The objective of this work was to obtain the only coherent X-ray diffraction intensities from the amorphous SiO₂, a 3-dimentional random network inorganic polymer. To correct incoherent scattering from the measured diffraction intensity, incoherent scattering intensity was subtracted theoretically when using CuK_α radiation and it was eliminated experimentally with a Zr-Y balance-filter when using MoK_α radiation. To correct multiple scattering computer programs were developed to estimate multiple scattering intensity obtained in the amorphous SiO₂ with various X-rays. The intensity ratios of multiple scattering to single scattering in the amorphous SiO₂ were 0.10∼0.16% for CuK_α, 0.98∼5.87% for MoK_α, and 1.88∼17.86% for AgK_α radiation.

3차원 랜덤 망상구조의 무기고분자인 무정형 SiO₂ 시편에서 측정된 X선 회절강도로부터 정합산란강도만을 얻고자 하였다. 측정된 회절강도로부터 비정합산란을 수정하기 위하여 CuK_α 빔을 사용할 때는 비정합산란강도를 이론적으로 계산하여 제하였고, MoK_α 빔을 사용할 때는 Zr-Y 평형 필터에 의해 실험적으로 제거하였다. 측정된 회절강도로부터 다중산란을 수정하기 위하여 여러 종류의 X선 빔에 따라 무정형 SiO₂에서 발생하는 다중산란강도를 산출해주는 컴퓨터 프로그램을 작성하였다. 무정형 SiO₂의 단일산란 빔에 대한 다중산란 빔의 강도 비는 CuK_α 빔에서 0.10∼0.16%, MoK_α 빔에서 0.98∼5.87%와 AgK_α 빔에서 1.88∼17.86%이었다.

Keywords: correction; scattering; multiple; amorphous; silica