Composite gas-separation membranes were prepared by the plasma- polymeriaation coating of hexamthyldisiloxane on the porous polycarbonate substrate membrane. The gas permselectivities of oxygen against nitrogen were measured In terms of the operational parameters of plasma polymerization and also of the post-plasma thereat treatmnt conditions. Plasma polymerization was carried out under the discharge power of 20∼80W, system pressure of 50∼100 mTorr, and the deposition time of 15∼25min range. Through the optimization of those parameters, the permselectivity value(R_O2, R_X2) of 4.67 and the permeation rate Value(R₀₂) of 1.32×10^-5Cm³(STP)/cm)·sec·cmHg were obtained. It was found that the performance of this composite membrane was further-improved by the post-plasma thermal treatment.

본 연구에서는 다공성 지지체인 폴리가보네이트막 위에 헥사메틸디실륵산 단량체의 플라즈마 중합막을 적층시킨 기체분리용 복합막을 제조하여 열처리 전후에 따른 산소와 질소의 선택투과성능을 측정하였다. 능동층인 플라즈마 중합막은 방전출력 20W∼80W. 초기 내부압력 50mTorr-100mTorr, 중합시간 15분∼25분의 범위에서 중합하였다. 플라즈마 중합막을 20W/60mTorr 조건하에서, 25분 중합했을 때, 산소에 대한 선택도(R₀₂ /R_X2)가 4.67이고. 산소의 투파속도 (R₀₂)는1.32×10^-5 cm³(STP)/cm²·sec·cmHg인 최적값이 얻어졌으며, 더우기 이를 공기 분위기에서 열처리하여 플라즈마 중합막의 화학구조를 개질 안정화 시킴으로써 산소에 대한 선택투과특성을 더욱 향상시킬 수 있었다.

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