For the biosensor membrane formation utilizing photolithography method, polyviny alcohol(PVA) was combined with 4-[2-(4-formylphenyl) etheny]pyridinium methosulfate(SbQ) through acetal linkage to give photosensitive water soluble pollymer PVA/SbQ. The degree of substitution of SbQ group in PVA was determined by ultraviolet (UV) spectrophotometry. The effect of concentration of PVA/SbQ in water and degree of substitution of SbQ on the ??? of film and other photolithographic properties were examined. From the film formation study on silicon chip using PVA/SbQ(SbQ 1mole%, 10 wt% ) aqueous solution, the spin coating speed at 2,500∼3,000 rpm, vacuum drying time of 30 min at room temperature, UV irradiation time of 20∼30sec, developing time of 30sec in distilled water were found to be optimum condition. Lipid sensor membrane was prepared on the gate area of pH-ISFET coated with Si₃N ₄ thin flim by photolithographic method using aqueous suspension of 7.5mg of BSA and 10 mg of lipase in 200 μL of above PVA/SbQ solution. This lipid sensor exhibited a linear calibration curve in the 10∼100mM range of triacetin as a lipid samole.

Lithography공정을 이용한 바이오 센서 감지막 형성을 위하여 수용성 고분자인 polyvinyl alcohol(PVA)에 감광성기인 4-l2-[(4-formylphenyl) ethenyl]pyridinium methosulfate(SbQ)염을 결합시켜 수용성 감광성 고분자(PVA/SbQ)를 얻었다. PVA/SbQ치환율을 사외선(UV) 흡광법으로 정량하였으며, PVA/SbQ 수용액 농도 및 SbQ 치환율에 따른 박막의 두께에의 영향 및 가교 반응 특성을 조사하였다. PVA/SbQ 수용액(SbQ 1 mole%, 농도 10wt%)) 자체의 막형성 실험으로부터 스핀 코터의 회전수는 2.500∼3,000rpm. 진공 전조는 상온에서 30분, UV 조사시간은 20∼30초. 증류수에서의 현상시간은 30초가 적정 조건임을 알았다. 상기 PVA/SbQ수용액 200μL에 BSA 7.5mg lipase 10mg을 포함하는 현탁액을 사용하여 Si₃N₄ 박막형 pH-ISFET의 gate 부위에 감지막을 형성하였으며 이 lipid 센서는 triacetin에 대하여 10∼100mM 농도 범위에서 출력 전압이 직선성의 검정선을 나타내었다.

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