The density, surface free energy, refractive index, internal stress, thermal properties, and electrical properties of organosilicon plasma polymers were investigated in terms of the input energy level(W/Fm) of plasma polymerization. It was found that such material properties were uniquely controlled by W/Fm and also were in good correlations with their chemical structures. The controlled properties of plasma polymer were interpreted with the activation growth mechanism of plasma polymerization.

플라즈마 중합의 에너지 조건(W/Fm)에 따츤 유기실리콘 플라즈마 중합막의 밀도. 표면자유 에너지, 굴절률, 내부응력, 열적특성, 및 전기전도성의 변화를 상세히 검토하였다. 플라즈마 중합막의 이러한 물성은 모두 W/Fm 같의 조절에 의해 체계적이고 대폭적인 변화들 보였으며 이는 중합막의 화학구조적 변화특성과 일치하였다. 플라즈마 중합막의 이러한 물성변화는 플라즈마 중합의 활성화 성장기구에 의해 잘 설명되었다.

Keywords: